特許

J-GLOBAL ID：200903064840561570

微小光学素子の作製方法および微小光学素子および光ピックアップおよび光通信モジュール

発明者： 菅原 悟
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-098453
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294922
出願日： 2002年04月01日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】 所定の大きさの基板材から取れる微小光学素子の数を大幅に増やすことができて、微小光学素子の価格を格段に下げることが可能である。【解決手段】 光学反射面を有する微小光学素子を所定の厚さの基板材200から切り出して作製するときに、前記基板材200に対して異方性エッチングにより溝200cを形成し、異方性エッチングにより形成された溝200cの所定の面が微小光学素子202の反射面202bとなるようにし、微小光学素子202の最長辺または第二長辺が異方性エッチングの深さ方向となるように微小光学素子202を切り出す。

請求項（抜粋）：

光学反射面を有する微小光学素子を所定の厚さの基板材から切り出して作製する微小光学素子の作製方法において、前記基板材に対して異方性エッチングにより溝を形成し、異方性エッチングにより形成された溝の所定の面が微小光学素子の反射面となるようにし、微小光学素子の最長辺または第二長辺が異方性エッチングの深さ方向となるように微小光学素子を切り出すことを特徴とする微小光学素子の作製方法。

IPC (4件)：

G02B 5/08 ,  G02B 5/04 ,  G11B 7/135 ,  G11B 7/22

FI (5件)：

G02B 5/08 C ,  G02B 5/08 A ,  G02B 5/04 E ,  G11B 7/135 A ,  G11B 7/22

Fターム (25件)：

2H042CA15 ,  2H042CA17 ,  2H042DA02 ,  2H042DA12 ,  2H042DA19 ,  2H042DC08 ,  2H042DE00 ,  5D119AA01 ,  5D119AA40 ,  5D119BA01 ,  5D119FA05 ,  5D119FA08 ,  5D119FA30 ,  5D119JA57 ,  5D119JA64 ,  5D119NA05 ,  5D789AA01 ,  5D789AA40 ,  5D789BA01 ,  5D789FA05 ,  5D789FA08 ,  5D789FA30 ,  5D789JA57 ,  5D789JA64 ,  5D789NA05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 集積型光ピックアップ用モジュール及び光ピックアップ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-401682   出願人：株式会社リコー