金属層の電解析出のための方法と装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤武久 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-517724
公開番号（公開出願番号）：特表平8-507106
出願日： 1994年12月23日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】所定の物理機械的特性を有する金属、特に銅の均一な層の電解析出のために、幾何学的形状が析出によって変化し、したがって電解槽における力線の分布が連続的に変化するので、溶性の陽極が用いられない。これに関連して生じる問題を解決するために、メッキ溶液に加えられる酸化還元系の化合物が析出中に不溶性陽極で転換される方法が提案された。これに関連して生じる化合物は、析出によって溶液から除去される金属イオンを再び補充するために、析出されるべき金属のパーツを含む容器から新しい金属イオンを溶解する。本発明は、従来技術と異なり、添加化合物が破壊されないやり方を開示する。

請求項（抜粋）：

析出金属のイオン、電気化学的に可逆な酸化還元系の化合物、及び金属層の物理化学特性を制御するための添加化合物を含有するメッキ溶液からの、高い電流効率で、所定の物理機械特性の均一な金属層、特に銅層の電解析出の方法であって、-陰極;-不溶性で寸法的に安定な陽極;-陽極酸化によって形成された酸化還元系の酸化化合物を含有するメッキ溶液の通路上の好適な金属パーツの溶解によって金属イオンが形成される金属イオン発生器;及び-陰極の直近での酸化化合物の濃度が最小化され、好適には約0.015モル/リットルより少ない値になる手段を用いる方法。

IPC (2件)：

C25D 21/14 , C25D 3/38

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭61-003900
特開昭60-138096
特開平1-259197

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審査官引用 (14件)

特開平1-259197
特開平1-259197
特開昭60-138096

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