特許

J-GLOBAL ID：200903064854894017

ガラスの被覆方法

発明者： ケヴィン デイヴィッド サンダーソン
出願人/特許権者： ピルキントン パブリック リミテッド カンパニー
代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-563590
公開番号（公開出願番号）：特表2002-522336
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2002年07月23日
要約：

【要約】タングステンオキシハライドまたはタングステンクロライドおよび酸素源を含むガス流をガラス基板の表面上に向けて当てることを含む、タングステン酸化物の層でガラスを被覆する方法。好ましくは、酸素源はエステルを含み、特には3乃至6個の炭素原子を有するエステルである。ガス流は、フッ素ドープタングステン酸化物層を形成するために、付加的にフッ素源を含んでもよい。

請求項（抜粋）：

タングステンオキシハライドまたはタングステンクロライドおよび酸素源を含むガス流をガラス基板の表面に向けて当てることにより、ガラス基板の表面上にタングステン酸化物を含む被膜を析出する方法。

IPC (3件)：

C03C 17/245 ,  C03C 17/34 ,  C23C 16/40

FI (3件)：

C03C 17/245 Z ,  C03C 17/34 Z ,  C23C 16/40

Fターム (23件)：

4G059AA01 ,  4G059AB13 ,  4G059AB14 ,  4G059AB17 ,  4G059AC06 ,  4G059EA01 ,  4G059EA02 ,  4G059EA05 ,  4G059EB00 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4K030AA02 ,  4K030AA03 ,  4K030AA04 ,  4K030AA14 ,  4K030AA17 ,  4K030BA42 ,  4K030CA06 ,  4K030FA10 ,  4K030JA01 ,  4K030JA10 ,  4K030JA12

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭55-067547