特許

J-GLOBAL ID：200903064856844580

マイクロミラー装置

発明者： 番 政広 ,  紺野 伸顕
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-339970
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162538
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 ミラー部の走査角度を制御可能な状態で大きくすることが困難であった。【解決手段】 所定の同一周波数の駆動電圧Va〜Vcが駆動電極9a〜9cにそれぞれ印加されるとともに、その駆動電圧Va〜Vcと逆相の駆動電圧Vd〜Vfが駆動電極9d〜9fに印加される。また、駆動フレーム7の電位は接地電位に設定される。このように駆動電圧Va〜Vfを印加すると、各駆動フレーム7がそれぞれのねじれ角θa〜θcで駆動し、被駆動フレーム2は、それらのねじれ角の総和の走査角度θsで駆動される。

請求項（抜粋）：

被駆動フレームに形成されたミラー部と、前記被駆動フレームの中央延長上に形成されたねじれ梁と、前記ねじれ梁の端部を支持し、基板に固定するアンカー部とを備えたマイクロミラー装置において、前記ねじれ梁の中間部に結合され、前記被駆動フレームの外側に形成された駆動フレームと、前記駆動フレームを駆動する駆動電圧を印加される駆動電極とを備えることを特徴とするマイクロミラー装置。

Fターム (3件)：

2H045AB16 ,  2H045AB24 ,  2H045AB81