特許

J-GLOBAL ID：200903064857265495

温度測定方法およびその装置

発明者： 井野 知巳
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-020539
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208611
出願日： 2000年01月28日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】 熱処理装置内の被測定体を熱処理装置から離間して測定する際に、リアルタイムで精度よく温度測定する技術を提供すること。【解決手段】 放射温度計13による温度の測定に際しては、測定用窓12、32a、32b、32cと放射温度計13の間における空気の対流の影響を防止する手段20を設ける。

請求項（抜粋）：

処理室内に載置された被測定体の温度を、前記処理室に設けられている測定用窓を介して外部から放射温度計により測定する温度測定方法において、前記放射温度計による温度の測定に際しては、前記測定用窓と前記放射温度計の間に存在する流体の対流の影響を防止しながら測定を行なうことを特徴とする放射温度測定方法。

IPC (7件)：

G01J 5/02 ,  F27B 5/18 ,  F27D 21/00 ,  G01J 5/10 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/66

FI (7件)：

G01J 5/02 K ,  F27B 5/18 ,  F27D 21/00 G ,  G01J 5/10 B ,  H01L 21/22 501 N ,  H01L 21/324 T ,  H01L 21/66 T

Fターム (23件)：

2G066AC20 ,  2G066BA21 ,  2G066BA38 ,  2G066BB05 ,  2G066CB01 ,  4K056AA09 ,  4K056BA02 ,  4K056BB06 ,  4K056CA18 ,  4K056FA12 ,  4K056FA22 ,  4K061AA01 ,  4K061AA05 ,  4K061BA11 ,  4K061DA05 ,  4K061GA02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA08 ,  4M106CA70 ,  4M106DH02 ,  4M106DH13 ,  4M106DH40 ,  4M106DH47