湿式研磨テープ及びそれを用いた湿式研磨方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小西淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067375
公開番号（公開出願番号）：特開平6-254772
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月13日
要約：

【要約】【目的】湿式研磨を均一、高品質に行い、研磨処理の連続処理化、省力化ができる研磨テープ及び方法を提供する。【構成】不織布や耐水性紙からなる繊維質基材の研磨テープ用基材と、その上に形成された研磨層とから構成された湿式研磨テープである。また繊維質基材の裏面にポリエチレンテレフタレート等の耐水性プラスチック基材を積層すれば、テープ強度の向上安定化、研磨屑等の裏ヌケ防止ができる。テープは巻取り状で連続的に供給し、テープに親水性研磨粒子を含んだ研磨液を付けて被研磨体に摺動すれば、従来のように研磨体の交換作業を頻繁に行うことなく、連続的な研磨ができ、省力化ができる。またクリーニングテープとしても使える。

請求項（抜粋）：