特許
J-GLOBAL ID：200903064876992810
顕微鏡装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-028988
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228935
出願日： 2001年02月06日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：
【要約】【課題】 安価で、光学部材の透過率を低下させる光学部材表面の生成物の発生を遅らせることができる極紫外光顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 光源1からの放射光は、極紫外光フィルタ5によって有効波長域のみの光が、極紫外光照明光学系6を経て、半透過鏡7によって対物レンズ8側へ折り曲げられ、対物レンズ8を透過して観察試料9を照明する。観察試料9での反射光は、対物レンズ8および半透過鏡7を透過して、ミラー11、13とレンズ系12で構成された結像光学系へと進む。結像光学系を経た反射光は、結像光学系の焦点にて観察試料像として結像する。照明光学系および観察光学系のすべてを内包する紫外光観察筐体16内部の光学系は、シャッタ4を閉じることにより極紫外光の照射から免れることができ、逐一光源の消灯をすることなく、単にシャッタ4を閉じる動作のみで、光学部材の表面の汚染を遅らせることができる。
請求項（抜粋）：
極紫外光(波長:約300nm以下)を含む光を放射する光源を有する紫外光光源部と、前記紫外光光源部からの極紫外光を試料に照射照明するための紫外光照明光学系と、試料での反射紫外光による試料像を結像させるための紫外光結像光学系と、前記紫外光照明光学系と前記紫外光結像光学系とを内蔵する紫外光観察筐体部を備える顕微鏡装置において、前記光源と前記紫外光観察筐体部との間にシャッターを備えたことを特徴とする顕微鏡装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2H052AA00
, 2H052AB24
, 2H052AB25
, 2H052AC04
, 2H052AC12
, 2H052AD31
, 2H052AD32
, 2H052AF14
