特許
J-GLOBAL ID：200903064877411951
膜厚むら測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-003237
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197216
出願日： 1997年01月10日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】各部の絶対膜厚測定を容易且つ高精度に行うことができる膜厚むら測定装置を提供する。【解決手段】半導体ウェーハ1の表面側に形成された酸化膜2の表面2aの二次元画像を多色で撮影するCCDカラーカメラ30と、酸化膜2の基準点P1の絶対膜厚dを測定する絶対膜厚測定器50と、酸化膜2の基準点P1の絶対膜厚dとCCDカラーカメラ30で撮影された二次元画像の各部の色(即ち波長)とに基づいて酸化膜2の膜厚むらを出力する出力部60とを備える。
請求項（抜粋）：
被測定物の表面側に形成された膜を撮影するカメラと、該カメラで撮影された画像の各部の波長に基づいて前記膜の膜厚むらを出力する出力部とを備える膜厚むら測定装置において、前記膜の基準点の絶対膜厚を測定する絶対膜厚測定器を有し、前記出力部は、前記基準点の絶対膜厚と、前記カメラで撮影された画像中の前記基準点の波長とに基づいて、波長と絶対膜厚との対応を設定し、この波長と絶対膜厚との対応と、前記画像中の膜の各部の波長とに基づいて、前記膜の各部の絶対膜厚を検出し、出力することを特徴とする膜厚むら測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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