特許

J-GLOBAL ID：200903064878139970

光偏向器

発明者： 虎島 和敏 ,  安田 進 ,  島田 康弘
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-105838
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292381
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】応力或いは熱応力等によって反射面が歪むことを防止した光偏向器である。【解決手段】光偏向器は、支持基板101と、支持基板101に弾性支持部105、106で振動自在に支持される可動部102と、可動部102上の反射面103を有する。可動部103を支持基板101に対して相対的に駆動させて反射面103に入射する入射光を偏向させ、実装治具107に支持基板101を固定する。弾性支持部105、106と可動部102との、反射面103の法線方向への曲げの中立面108が同一平面上になく、支持基板101を実装冶具107に、弾性支持部105、106の中立面108に対して可動部102の中立面側の支持基板101の面で固定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持基板と、前記支持基板に少なくとも2本の弾性支持部で振動自在に支持される可動部と、前記可動部に形成される反射面を有し、前記可動部を前記支持基板に対して相対的に駆動させて反射面に入射する入射光を偏向させ、実装治具に前記支持基板を固定する光偏向器であって、 前記弾性支持部と前記可動部との、前記反射面の法線方向への曲げの中立面が同一平面上になく、前記支持基板を前記実装冶具に、前記弾性支持部の中立面に対して前記可動部の中立面側の前記支持基板の面で固定することを特徴とする光偏向器。

IPC (4件)：

G02B26/10 ,  B41J2/44 ,  B81B3/00 ,  H04N1/036

FI (4件)：

G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  H04N1/036 Z ,  B41J3/00 D

Fターム (15件)：

2C362AA46 ,  2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73 ,  2H045DA41 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DB02 ,  5C051DB04 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プレーナ型光走査装置及びその実装構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-051805   出願人：日本信号株式会社