特許

J-GLOBAL ID：200903064878788684

搬送装置

発明者： 西畑 智秀
出願人/特許権者： 関西日本電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-339828
公開番号（公開出願番号）：特開2002-151574
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：

【要約】【課題】 多数の微細な電極を有する半導体ペレットに異物が付着すると絶縁不良や短絡などの不良を発生することがあった。【解決手段】 被搬送物保持手段9を移動させる移動機構に被搬送物保持手段の移動経路と交差して層流エアを供給するエア供給手段とエア供給手段からの層流を吸引する吸気窓を配置し、吸気窓の吸気速度を所定の速度に設定する。

請求項（抜粋）：

被搬送物を取出す取出ポジションと被搬送物を供給する供給ポジションとの間を搬送経路に沿って移動する移動機構と、移動機構に連結されて移動し前記各ポジションで被搬送物を保持、解放する被搬送物保持機構と、少なくとも被搬送物保持手段に連結された部分が移動可能に開口窓を開口させて移動機構を覆うカバーと、取出予定の被搬送物を含む領域上方を水平方向に横切って被搬送物保持手段の移動経路に向かって層流エアを供給するエア供給手段と、被搬送物保持手段の移動経路に沿う垂直面に吸気窓を開口させエア供給手段から供給された層流エアを吸引する吸気手段とを備え、移動機構の動作に伴って発生する微細な異物の粒径に応じて、カバー開口窓の開口面位置に対する吸気手段の吸気窓の開口面位置を設定するとともに吸気窓位置の吸気速度を設定したことを特徴とする搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00 ,  H01L 21/50

FI (3件)：

H01L 21/68 B ,  B65G 49/00 A ,  H01L 21/50 C

Fターム (6件)：

5F031CA13 ,  5F031GA23 ,  5F031NA02 ,  5F031NA08 ,  5F031NA16 ,  5F031PA26