特許

J-GLOBAL ID：200903064878895642

ガスセンサ用センシング膜の製造方法

発明者： 都外川 真志 ,  松葉 頼重 ,  三澤 嘉久 ,  後藤 英之 ,  大迫 雄久 ,  小田 正明 ,  齋藤 記庸 ,  鈴木 敏洋 ,  阿部 知行
出願人/特許権者： 株式会社デンソー ,  ハリマ化成株式会社 ,  株式会社アルバック
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-072343
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270184
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】 基材の上に、金属または金属酸化物からなる粒子を焼結してなるガスセンサ用のセンシング膜を製造する方法において、感度や応答性といったセンサ特性に優れたガスセンサ用のセンシング膜を簡便に形成できるようにする。【解決手段】 ナノメータオーダの粒子100、該粒子100の凝集を防止する分散剤110および焼結時に該分散剤110を捕捉する捕捉剤120を溶剤130中に混合させることにより、ペースト体140を作製し、このペースト体140を基材の上に塗布し、焼成することにより、センシング膜を形成する。

請求項（抜粋）：

基材(10)の上に、金属または金属酸化物からなる粒子を焼結してなるガスセンサ用のセンシング膜(40)を製造する方法において、ナノメータオーダの前記粒子、前記粒子の凝集を防止する分散剤および焼結時に前記分散剤を捕捉する捕捉剤を溶剤中に混合させることにより、ペースト体を作製し、このペースト体を前記基材の上に塗布し、焼成することにより、前記センシング膜を形成することを特徴とするセンシング膜の製造方法。

FI (2件)：

G01N 27/12 A ,  G01N 27/12 C

Fターム (20件)：

2G046AA11 ,  2G046AA13 ,  2G046AA19 ,  2G046AA24 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC04 ,  2G046BC05 ,  2G046BE03 ,  2G046DB05 ,  2G046DC14 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046FA02 ,  2G046FA03 ,  2G046FA04 ,  2G046FB02 ,  2G046FE39