特許

J-GLOBAL ID：200903064880655004

光導波路デバイス

発明者： 岸田 裕司 ,  竹村 浩二 ,  米田 竜司
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042521
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236782
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 容易なプロセスで温度ドリフトを極力抑えることができ、且つ直流駆動が可能である光導波路デバイスを提供すること。【解決手段】 一主面に光導波路2が形成された焦電性基板1と、焦電性基板1の一主面に形成されたバッファ層3と、バッファ層3の一領域上に光導波路2に沿って形成された電極層9と、バッファ層3の他領域上で且つ電極層9の側端面から所定距離だけ隔てて形成した半導体層5とから成る。

請求項（抜粋）：

一主面に光導波路が形成された焦電性基板と、該焦電性基板の一主面に形成されたバッファ層と、該バッファ層の一領域上に前記光導波路に沿って形成された電極層と、前記バッファ層の他領域上で且つ前記電極層の側端面から所定距離だけ隔てて形成した半導体層とから成る光導波路デバイス。