特許
J-GLOBAL ID：200903064884325670
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-268278
公開番号（公開出願番号）：特開平8-106872
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 引き出すイオンビームのビーム電流を一定に保つことができるようにしたイオン源を提供する。【構成】 中間電極抵抗44に直列に接続されていて、そこを流れる電流I1 を検出する電流検出器56と、この電流検出器56で検出した電流I1 と、予め設定した基準値R2 とを比較し、両者の差に相当する差信号S2 を出力する比較回路58と、この比較回路58からの差信号S2 に応答してフィラメント電源46を制御して、第1プラズマ室4内でアーク放電が生じているときに当該差信号S2 が0になるように、フィラメント12に流すフィラメント電流を制御する制御回路60とを設けた。
請求項（抜粋）：
内部に第1プラズマ室およびそれに連通する第1開口部を有し、第1プラズマ室内にガスが導入される中間電極と、この第1プラズマ室内に設けられたフィラメントと、内部に第2プラズマ室およびそれに連通する第2開口部を有し、この第2開口部が中間電極の第1開口部に連通しているアノードと、第2プラズマ室の前記第2開口部に対向する部分に設けられていて、中間電極と同電位に保たれる反射電極と、この反射電極またはアノードに設けられていて、第2プラズマ室からイオンビームを引き出すためのイオン引出し口と、第1プラズマ室から第2プラズマ室にかけての領域に、それらの軸に沿う方向の磁界を発生させる磁界発生手段と、中間電極とアノードとの間に接続された中間電極抵抗と、フィラメントに接続されていてそれを加熱するものであって、フィラメントに流すフィラメント電流を外部からの信号に応答して可変のフィラメント電源と、アノードとフィラメントとの間に前者を正側にして接続された直流のアーク電源とを備えるイオン源において、前記中間電極抵抗に直列に接続されていて、そこを流れる電流を検出する電流検出器と、この電流検出器で検出した電流と予め設定した基準値とを比較し、両者の差に相当する差信号を出力する比較回路と、この比較回路からの差信号に応答して前記フィラメント電源を制御して、第1プラズマ室内でアーク放電が生じているときに当該差信号が0になるように、フィラメントに流すフィラメント電流を制御する制御回路とを備えることを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
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