特許
J-GLOBAL ID：200903064889627275
基板保持盤
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-038624
公開番号（公開出願番号）：特開平5-205997
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 ウエハを透過する照明光の反射によって、レジストの不要な部分が露光されたり、アライメントやフォーカス調整の精度の低下を軽減する。【構成】 ウエハチャックC1 は、本体1に設けられた複数の突部1aのそれぞれの支持面1bにウエハ(図示せず)を吸着し、これを支持する。ウエハチャックC1 の前記ウエハの裏面に隣接する側の表面は、前記各突部1aとともに反射率の低い材料からなる第1の被覆層2によって被覆される。該第1の被覆層2は粗面化された表面をもち、反射光を散乱させる。前記第1の被覆層2の表面はさらに平滑な表面をもつ透明材料からなる第2の被覆層3によって覆わている。このため、第1の被覆層2の表面の凹凸によってウエハの平坦度が損われることはない。
請求項（抜粋）：
基板に接触してこれを支持する支持面を有する基板保持盤であって、その前記支持面を有する側の表面が、粗面化された表面をもつ反射率の低い材料からなる第1の被覆層によって被覆されており、該第1の被覆層の少くとも前記支持面を被覆する部分の表面が、平滑な表面をもつ透明材料からなる第2の被覆層によって被覆されていることを特徴とする基板保持盤。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B65G 49/07
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
