特許

J-GLOBAL ID：200903064895971816

塗布装置

発明者： 都築 英嗣
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 高橋 省吾 ,  稲葉 忠彦 ,  村上 加奈子 ,  中鶴 一隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-360237
公開番号（公開出願番号）：特開2005-125134
出願日： 2003年10月21日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：

【課題】 接着剤・コーティング剤の塗布方式において、塗布量の定量性を確保するため、目標とする塗布量との偏差算出方式としては、従来は画像処理装置を用いていたが、補正精度が低いために、塗布の定量性を保証できなかった。【解決手段】 塗布断面形状を三次元で認識可能なセンサを使用し、塗布最中において塗布断面形状を認識し、常に適性な塗布量となるように目標量との偏差を逐次算出し、その補正量をフィードバックさせ制御量として出力することで、塗布最中での定量塗布性を保証する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被塗布対象物に塗布剤を供給する吐出ノズルと、 上記被塗布対象物に供給された塗布剤の断面形状または断面積を計測する計測部と、 上記吐出ノズルおよび上記計測部を保持するステージと、 上記ステージを上記計測部の計測断面に垂直な方向へ移動させる駆動部と、 上記計測部で計測された上記塗布剤の断面形状または断面積に基いて、上記被塗布対象物に供給される塗布剤の塗布量を変化させる制御部と、 を備えた塗布装置。

IPC (3件)：

B05C11/10 ,  B05C5/00 ,  H01L21/56

FI (3件)：

B05C11/10 ,  B05C5/00 101 ,  H01L21/56 E

Fターム (19件)：

4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB02 ,  4F041BA04 ,  4F041BA22 ,  4F041BA35 ,  4F041BA38 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042AB00 ,  4F042BA02 ,  4F042BA06 ,  4F042BA12 ,  4F042CB03 ,  5F061AA01 ,  5F061BA03 ,  5F061CA04 ,  5F061DE06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ポツテイング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-157252   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社新川