特許
J-GLOBAL ID：200903064903232548
検査測定装置および測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-197968
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031229
出願日： 1997年07月09日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 装置固有の誤差に影響されないで、パターンなどの重ね合わせのズレ量の計測値を簡便、かつ正確に補正することができる。【解決手段】 本発明による検査測定装置は、パターンを検出するパターン位置検出器と、前記パターンごとの前記検出結果に基づいて前記パターンの被測定基板上における位置ズレ量を算出する位置ズレ量算出器と、あらかじめ前記被測定基板とは異なる基準基板に露光した所定のパターンの検出結果に基づくTISaf値を記憶する第1メモリー部と、前記被測定基板の所定のパターンの検出結果に基づくTISall値から、前記TISaf値を引いた前記検査測定装置の特性に依存しない値TISrを記憶する第2メモリー部と、前記TISaf値と前記TISr値に基づいて前記位置ズレ量を補正する位置ズレデータ補正部とからなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被測定基板上における少なくとも2つのパターンのパターン間の位置ズレを測定する検査測定装置において、前記パターンを検出するパターン位置検出器と、前記パターンごとの前記検出結果に基づいて前記パターンの前記被測定基板上における位置ズレ量を算出する位置ズレ量算出器と、あらかじめ前記被測定基板とは異なる基準基板に露光した所定のパターンを、前記基準基板が所定方向のとき及び該所定方向に対して約180度回転した方向のときに検出した検出結果に基づいて得られる前記検査測定装置の特性に固有な値TISafを記憶する第1メモリー部と、前記被測定基板の所定のパターンを、前記被測定基板が所定方向のとき及び該所定方向に対して約180度回転した方向のときに検出した検出結果に基づいて得られる値TISallから、前記TISaf値を引いた前記検査測定装置の特性に依存しない値TISrを記憶する第2メモリー部と、前記TISaf値と前記TISr値に基づいて前記位置ズレ量を補正する位置ズレデータ補正部と、からなることを特徴とする検査測定装置。
IPC (4件)：
G06T 7/00
, G01B 11/24
, H01L 21/66
, G01N 21/88
G06F 15/70 460 E
, G01B 11/24 C
, H01L 21/66 J
, H01L 21/66 Z
, G01N 21/88 E
, G06F 15/62 405 C
