特許
J-GLOBAL ID:200903064914564321

試料観察方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北川 治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-046073
公開番号(公開出願番号):特開平11-248621
出願日: 1998年02月26日
公開日(公表日): 1999年09月17日
要約:
【要約】【目的】近接場光を利用した新規で有利な試料観察方法を提供する。【構成】感光材料上に試料を配置して、照射光の一回照射により試料に生じた近接場光の分布を感光材料に記録するプロセスと、前記記録をその記録形態に適した観察手段により観察する観察プロセスとを含む試料観察方法。
請求項(抜粋):
以下の記録プロセス(A)と観察プロセス(B)とを含むことを特徴とする試料観察方法。(A)保存及び検出が可能な任意の光反応を起こし得る感光材料を用いて構成された記録領域面に観察試料を接触状態で位置させたもとで、前記記録領域面の少なくとも観察試料が位置するエリアに光を照射して、前記観察試料に生じた近接場光の分布を、前記感光材料の光反応量に対応する情報として記録する記録プロセス。(B)前記記録した情報を、その記録形態に対応して選択される観察手段によって観察する観察プロセス。
IPC (2件):
G01N 21/01 ,  G02B 21/00
FI (2件):
G01N 21/01 Z ,  G02B 21/00

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