特許
J-GLOBAL ID：200903064932210090
可動反射鏡とその可動反射鏡を用いた光スイッチ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180124
公開番号（公開出願番号）：特開2001-356283
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：
【要約】【課題】光ビームの光軸ずれが少なく、また光路長差が少ない微小型の可動平面反射鏡及びこの可動平面反射鏡を用いた光スイッチを提供する。【解決手段】予め定めた一平面内にある一つの長方形の各頂点に中心が位置するように各可動平面反射鏡が基板上に配置され、各可動平面反射鏡はその長方形の一対の平行な辺のうちの該当する一方と一致するように配置された回転軸を中心に回転可能なるように基板に支持されている。回転軸を含む平面に沿う方向から入射する入射光が、その回転軸の回転が有るか否かにより可動平面反射鏡の一つにより進行方向を転換するか直進する方向に反射し、かつ、前記の一平面と平行に所定の間隔を以て配置された直進光路反射鏡または交叉光路反射鏡により再反射され、他の可動平面反射鏡のいずれかに入射して反射し出力光となる。
請求項（抜粋）：
平坦な表面を有する基板と、反射平面を有する一つの平面反射鏡と、該平面反射鏡の前記反射平面の中心を通りかつ該反射平面内にある一つの直線をねじれの回転軸として前記平面反射鏡を支持するように該反射鏡の両端に取付けられた弾性梁と、前記反射鏡を該弾性梁のねじれの回転軸の回りに可動となるように、前記反射鏡を前記基板と所要間隔を置いて支持するように前記基板に固定された固定台と、該固定台に取付けられた前記弾性梁により支持された前記反射鏡の前記反射平面が前記基板の平坦な表面と平行となる該反射鏡の姿勢での該反射鏡の可動端の一方の可動範囲を制限するために、前記基板上の該一方の可動端側に取付けられた水平ストッパと、前記反射鏡の他方の可動端の回転角を所定の回転角に制限するために前記基板上に取付けられた回転ストッパと、該反射鏡の該他方の可動端を前記弾性梁の弾力に抗して前記所定の回転角まで回転させる駆動手段とを備え、該駆動手段による駆動により前記反射鏡の前記反射平面が前記所定の回転角まで回転する回転状態と、該駆動手段による駆動の停止により前記反射鏡の前記反射平面が前記弾性梁の弾力により前記基板の平坦な表面と平行となる復旧状態とにより、該反射鏡の前記反射平面に入射する入射光に対する該反射平面による反射方向が転換されるように構成された可動反射鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2H041AA14
, 2H041AA15
, 2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AB15
, 2H041AC06
, 2H041AZ05
