特許
J-GLOBAL ID：200903064945939412
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-071036
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283094
出願日： 1994年04月08日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 フロー自体が異なるロットを連続的に処理する場合であっても、基板処理部を効率的に利用して基板処理におけるスループットの向上を図ることができる基板処理装置。【構成】 先投入ロット及び後投入ロットで共に使用される基板処理部AH、CP、HP、SC、SDが存在しない場合、搬送ロボット10による先投入ロットに関する先投入ロット側循環搬送のうち、先投入ロットの最初の基板を含む最初の先投入ロット側循環搬送後から先投入ロットの最後の基板を含む最初の先投入ロット側循環搬送前までの間に、後投入ロットの基板に関する後投入ロット側循環搬送を少なくとも1回以上割込ませることとしているので、先投入ロットの処理中に後投入ロットの処理に必要な基板処理部の全てが空いてしまうといった事態を防止でき、基板処理部AH、CP、HP、SC、SDを効率的に利用して基板処理におけるスループットの向上を図ることができる。
請求項（抜粋）：
基板の処理を行う複数の基板処理部と、基板を前記複数の基板処理部間で搬送する搬送手段とを備え、当該搬送手段により、所定の処理手順が定められた先投入ロットの基板とこの先投入ロットと異なる所定の処理手順が定められた後投入ロットの基板とをそれぞれ前記複数の基板処理部間で循環搬送させることによって、先投入ロットと後投入ロットの基板とを順次処理する基板処理装置であって、先投入ロット及び後投入ロットで共に使用される基板処理部が存在しない場合、先投入ロットに関する先投入ロット側循環搬送のうち、先投入ロットの最初の基板を含む最初の先投入ロット側循環搬送後から先投入ロットの最後の基板を含む最初の先投入ロット側循環搬送前までの間に、後投入ロットの基板に関する後投入ロット側循環搬送を少なくとも1回以上割込ませるように制御する制御手段を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, G02F 1/13 101
, H01L 21/68
