特許
J-GLOBAL ID：200903064947237725
形状計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-165826
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014936
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】 ビーム光を偏向して形状を計測する場合、ビーム光の投射、偏向、受光の光学系が小さくなり、外乱光に乱されない形状計測装置を提供する。【構成】 ビーム光を測定対象1に偏向、投射するビーム偏向系と帯状シャッタ列3を組み合わせ、これらを同期制御して測定対象1のスポット像を検知し、三角測量演算を施して形状を計測する。ここで、シャッタ列3からのスポット像を2次元受光面2で集光して、ビーム光のみを偏向することで、光学系を小さくする。また、ビーム光によるスポット像の出現可能範囲のみを、シャッタ列3の開閉を制御して選択的に2次元受光面2で撮像することで、その範囲外の光を遮断して背景のノイズ光にも強くする。さらに、シャッタ列3を結像位置に配置し、その像をリレーレンズ系で2次元受光面2上に再結像させることで、シャッタ列3と2次元受光面2を密着させたのと等価にし、高い分解能を確保する。
請求項（抜粋）：
ビーム光を発する光源と、該ビーム光を順次方向変化させながら偏向して測定対象に投射する手段と、該測定対象に投射されたビーム光のスポット像の受光レンズと、該受光レンズを通して得られる前記スポット像の結像位置に1つの偏向方向をとったときのビーム光と該受光レンズの中心がなす平面を挟むように位置する帯状のシャッタを該ビーム光の偏向方向ごとに対応するように設けたシャッタ手段と、該シャッタ手段上の像を他の空間位置に再結像させるリレーレンズ系と、該リレーレンズ系の結像位置に設けられた2次元受光デバイスと、該ビーム光の偏向方向に対応させて該シャッタ手段の個々の位置でのシャッタの開閉の同期をとる手段と、前記画像データに三角測量演算を施す手段と、を具備することを特徴とする形状計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 C
, G01C 3/06 A
