単結晶引き上げ装置用カーボン製部品

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井内龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-005883
公開番号（公開出願番号）：特開平7-206575
出願日： 1994年01月24日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：

【要約】【構成】高純度セラミックスにより被覆された単結晶引き上げ装置用カーボン製部品(整流筒本体11)において、カーボン材料が部分的に露出している単結晶引き上げ装置用カーボン製部品。【効果】減圧工程の際、このカーボンの露出層11aからカーボン製部品(整流筒本体11)内部の気体の放出が速やかに行われ、圧戻り現象の発生を防止して、効率良く単結晶の製造を行うことができると共に、カーボンに起因する単結晶の汚染も防することができ、高品質の単結晶製品を提供することができる。

請求項（抜粋）：

高純度セラミックスにより被覆された単結晶引き上げ装置用カーボン製部品において、カーボン材料が部分的に露出していることを特徴とする単結晶引き上げ装置用カーボン製部品。

IPC (3件)：

C30B 15/00 , C30B 15/14 , C30B 29/06 502

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-247683
特開昭62-138386

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