特許

J-GLOBAL ID：200903064957734433

固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 名取 太知
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-135418
公開番号（公開出願番号）：特開2001-320034
出願日： 2000年05月09日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 反射防止パターンによる集光光の「けられ」を防止して感度の向上と安定化を図ることができる固体撮像素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板10表面のフォトセンサ11上を開口する遮光膜16と、受光部11に光を集光するためのマイクロレンズ18との間に、フォトセンサ11上に開口部31aを有する反射防止パターン31を備えた固体撮像素子において、反射防止パターン31の開口部31aは、その内壁上部がR状のテーパ形状に成形されたことを特徴としており、これによってフォトセンサ11側における開口部31aの開口径を広げることなく、マイクロレンズ18で集光された集光光hが反射防止パターン31の開口上部で「けられ」ることを防止する。

請求項（抜粋）：

基板表面の受光部上を開口する遮光膜と、前記受光部に光を集光するためのマイクロレンズとの間に、前記受光部上に開口部を有する反射防止パターンを備えた固体撮像素子において、前記反射防止パターンの開口部は、その内壁上部がテーパ形状に成形されたことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H01L 31/0232 ,  H04N 5/335

FI (5件)：

H04N 5/335 U ,  H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 B ,  H01L 31/02 D

Fターム (25件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA08 ,  4M118BA13 ,  4M118BA30 ,  4M118CA40 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB18 ,  5C024AX01 ,  5C024BX01 ,  5C024BX04 ,  5C024CX01 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5C024GY04 ,  5C024GZ38 ,  5C024GZ39 ,  5F088AA01 ,  5F088BA20 ,  5F088BB03 ,  5F088EA04 ,  5F088JA12 ,  5F088JA20