特許
J-GLOBAL ID：200903064966920290
露光光投射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-257812
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124828
出願日： 1994年10月24日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】エキシマレーザ露光装置の露光光投射装置において光軸アライメントが短時間で容易に行なえフライアイレンズ10の任意の位置に光軸を合せることができかつエキシマレーザ光を長期に亘り安定して投射できる。【構成】エキシマスレーザ光の光路を変える移動ミラー2を光軸に平行な面内に移動ミラー2をリモートコントロールで二次元移動させるミラー移動機構1と、レーザ光路中にミラー8を挿入しレーザ光を入光し光軸の位置座標をモニタテレビ16に表示する光軸モニタ5とを設けている。
請求項（抜粋）：
エキシマレーザ光源装置から投射されるエキシマレーザ光を所定のスポット形状に絞る光軸調整用ピンホール機構と、この光軸調整用ピンホール機構を通過するエキシマレーザ光の経路を変えフライアイレンズに該エキシマレーザ光を投光する一対の反射ミラーとを備える露光光投射装置において、前記光軸調整用ピンホール機構より通過する前記エキシマレーザ光の光軸に並行な面内を前記一対の反射ミラーのいずれかを二次元移動させるミラー移動機構と、前記フライアイレンズに入光する前記エキシマレーザ光の経路を変え入光させ該エキシマレーザ光を可視光に変換する蛍光板と、この蛍光板から発生した前記可視光を入光させ前記フライアイレンズへの前記エキシマレーザ光の光軸の位置を平面座標で出力する光軸モニタとを備えることを特徴とする露光光投射装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/207
