特許
J-GLOBAL ID：200903064968703084
静電型イオン加速装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-159598
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008097
出願日： 1994年06月20日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 加速管の加速電極、イオン源の引き出し電極系でのX線の発生を低減すること。【構成】 加速管の加速電極13は、外周リング部材131,コーン状部材132,リング電極部材133からなる。ビームが通過する開口23を有するリング電極部材はカーボン、アルミニウム等の原子番号の小さい材料で形成されている。同部材は、周縁の複数の取付け片部22をコーン状部材の取付け片部21にボルト24で固定することにより、コーン状部材に取外し可能に取り付けられている。ビームが加速電極部、残留ガスに当って発生した2次電子が電場で加速され、リング電極部材に当ってもX線の発生量は少ない。イオン源のビーム引き出し電極系に対し、接地電極に原子番号の小さい材料で形成したリング電極部材を絶縁して取外し可能に取り付ける。同部材をイオン抑制電極として用いる。
請求項（抜粋）：
加速管の加速電極が、ビームが通過する開口を有し、原子番号の小さい材料で形成された取外し可能のリング電極部材を備えて構成されていることを特徴とする静電型イオン加速装置。
IPC (2件)：
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