特許
J-GLOBAL ID:200903064977445039

セラミックヒータ、積層型ガスセンサ素子及びその製造方法、並びに積層型ガスセンサ素子を備えるガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-043353
公開番号(公開出願番号):特開2003-322632
出願日: 2003年02月20日
公開日(公表日): 2003年11月14日
要約:
【要約】【課題】 素子本体に水滴が付着しても、その素子本体にクラックが生じることを防止することができる積層型ガスセンサ素子及びその製造方法を得る。【解決手段】 抵抗発熱体21を内部に有するセラミック製の基体2と、固体電解質体からなる検出層11の表裏面に検知電極131、基準電極132が形成された酸素濃淡電池素子1と、電極保護層5とを積層した板状の素子本体を有する積層型ガスセンサ素子400において、少なくとも測定対象気体に晒されることになる先端側全周に、多孔質接着層41と多孔質表面層42とからなる多孔質保護層40を形成する。このとき、素子本体の長手方向に延びる4つの角部3からの多孔質保護層4の厚みを、20μm以上に形成する。これにより、素子本体の角部3に相当する部位に水滴が付着しても、水滴が多孔質保護層4内に分散されることになり、素子本体にクラックが発生することを有効に抑制することができる。
請求項(抜粋):
通電により発熱する抵抗発熱体と、上記抵抗発熱体を内部に埋設してなる板状のセラミック製の基体とからなり、測定対象気体中の特定ガスを検出するためのガスセンサ素子を加熱するためのセラミックヒータであって、該基体の少なくとも測定対象気体に晒されることになる先端側であって、その基体の長手方向に延びる各角部の1以上を少なくとも覆うように多孔質保護層が形成され、該多孔質保護層の厚さは該角部から20μm以上であることを特徴とするセラミックヒータ。
IPC (3件):
G01N 27/409 ,  G01N 27/416 ,  H05B 3/20 393
FI (3件):
H05B 3/20 393 ,  G01N 27/58 B ,  G01N 27/46 371 G
Fターム (25件):
2G004BB04 ,  2G004BC07 ,  2G004BD04 ,  2G004BE04 ,  2G004BE13 ,  2G004BE22 ,  2G004BF02 ,  2G004BF05 ,  2G004BF08 ,  2G004BF09 ,  2G004BF13 ,  2G004BF18 ,  2G004BF27 ,  2G004BG05 ,  2G004BH02 ,  2G004BJ03 ,  2G004BM04 ,  2G004BM07 ,  2G004BM10 ,  3K034AA02 ,  3K034AA22 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC17 ,  3K034JA02
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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