特許

J-GLOBAL ID：200903064979599742

膜形成用組成物、絶縁膜形成用材料およびシリカ系膜

発明者： 西川 通則 ,  山田 欣司
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-250361
公開番号（公開出願番号）：特開2002-060690
出願日： 2000年08月21日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
要約：

【要約】【課題】 、半導体素子などにおける層間絶縁膜材料として、塗膜の機械的特性やクラック耐性やSiNとの密着性に優れ、かつ低い比誘電率を示す膜形成用組成物および絶縁膜形成用材料を得る。【解決手段】 (A)アリール基を有するアルコキシシラン、(B)(B-1)下記一般式(2)で表される化合物R3cSi(OR4)4-c ・・・・・(2)(R3はフッ素原子または1価の有機基を示し、R4は1価の有機基を示し、cは0〜2の整数を表す。)(B-2)下記一般式(3)で表される化合物 R5d(R6O)3-dSi-(R9)f-Si(OR7)3-eR8e ・・・(3)(R5,R6,R7およびR8は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を示し、dおよびeは、同一でも異なっていてもよく、0〜2の数を示し、R9は酸素原子または-(CH2)n-で表される基を示し、nは1〜6を、fは0または1を示す。)からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物を加水分解、縮合して得られる加水分解縮合物を含有することを特徴とする膜形成用組成物。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される化合物および・・(1)(R1およびR2は1価の有機基、aは1〜5、bは1〜3の整数を示す。)(B)(B-1)下記一般式(2)で表される化合物R3cSi(OR4)4-c ・・・・・(2)(R3はフッ素原子または1価の有機基を示し、R4は1価の有機基を示し、cは0〜2の整数を表す。)(B-2)下記一般式(3)で表される化合物 R5d(R6O)3-dSi-(R9)f-Si(OR7)3-eR8e ・・・(3)(R5,R6,R7およびR8は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を示し、dおよびeは、同一でも異なっていてもよく、0〜2の数を示し、R9は酸素原子または-(CH2)n-で表される基を示し、nは1〜6を、fは0または1を示す。)からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物を加水分解、縮合して得られる加水分解縮合物を含有することを特徴とする膜形成用組成物。

IPC (8件)：

C09D183/04 ,  C08G 77/18 ,  C08G 77/24 ,  C08G 77/50 ,  C09D 4/06 ,  C09D 5/25 ,  C09D183/14 ,  H01L 21/312

FI (8件)：

C09D183/04 ,  C08G 77/18 ,  C08G 77/24 ,  C08G 77/50 ,  C09D 4/06 ,  C09D 5/25 ,  C09D183/14 ,  H01L 21/312 C

Fターム (69件)：

4J035AA03 ,  4J035AB03 ,  4J035BA03 ,  4J035BA04 ,  4J035BA05 ,  4J035BA06 ,  4J035BA13 ,  4J035BA14 ,  4J035BA15 ,  4J035BA16 ,  4J035CA03N ,  4J035CA031 ,  4J035CA162 ,  4J035EA01 ,  4J035EB03 ,  4J035HA01 ,  4J035HB03 ,  4J035LA05 ,  4J035LB01 ,  4J038DL031 ,  4J038DL032 ,  4J038DL071 ,  4J038DL072 ,  4J038DL161 ,  4J038DL162 ,  4J038FA012 ,  4J038FA042 ,  4J038FA092 ,  4J038FA162 ,  4J038GA01 ,  4J038GA07 ,  4J038GA12 ,  4J038HA096 ,  4J038HA176 ,  4J038HA326 ,  4J038HA376 ,  4J038HA416 ,  4J038HA476 ,  4J038JA37 ,  4J038JA38 ,  4J038JA39 ,  4J038JA41 ,  4J038JA42 ,  4J038JA55 ,  4J038JA66 ,  4J038JB03 ,  4J038JB09 ,  4J038JB11 ,  4J038JB27 ,  4J038JB28 ,  4J038JB29 ,  4J038JC13 ,  4J038JC38 ,  4J038KA04 ,  4J038MA07 ,  4J038MA10 ,  4J038NA11 ,  4J038NA12 ,  4J038NA21 ,  4J038PA19 ,  4J038PB09 ,  4J038PC02 ,  5F058AA08 ,  5F058AB06 ,  5F058AC03 ,  5F058AF04 ,  5F058AF06 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02