特許
J-GLOBAL ID：200903064982795528
照明装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-246845
公開番号（公開出願番号）：特開平11-084258
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 レリーフのある被検査面を撮像したときに、レリーフのエッジ部とその他の部分とのコントラストが明確となるように照明することができる照明装置を提供する。【解決手段】 レリーフのある被検査面を撮像する際に被検査面を同軸落射照明する装置であって、照明系の開口数が0.5乃至0.866であることを特徴とする照明装置。
請求項（抜粋）：
レリーフのある被検査面を撮像する際に前記被検査面を同軸落射照明する装置であって、照明系の開口数が0.5乃至0.866であることを特徴とする照明装置。
IPC (5件)：
G02B 21/06
, F21V 1/00
, G01N 21/01
, G01N 21/84
, G02B 21/36
G02B 21/06
, F21V 1/00 Z
, G01N 21/01 D
, G01N 21/84 E
, G02B 21/36
