特許
J-GLOBAL ID：200903064983415273
真空チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-256010
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068835
出願日： 2001年08月27日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：
【要約】【課題】 研磨加工を行うことなく、被吸着物を吸着した際の平面度を確保することができ、かつ被吸着物へのパーティクルの付着が少ない真空チャックを提供すること。【解決手段】 被吸着物10を真空吸着する真空チャック1は、平板状の本体2と、本体2の一方の面の周縁に設けられ被吸着物が載置される周壁3と、本体2の周壁3で囲まれた凹部4の底部に設けられ、周壁3と実質的に同じ高さで被吸着物10を支持する多数の支持突起5と、凹部4の底部に設けられ、凹部4内を排気する排気口9とを有し、構成材料が、相対密度99%以上で、ヤング率が300GPa以上の緻密質セラミックス焼結体からなり、本体2の外周から、周壁3の内周およびその内周より50mm内側の間までの部分の板厚が、4mm以下である。
請求項（抜粋）：
被吸着物を真空吸着する真空チャックであって、平板状の本体と、前記本体の一方の面の周縁に設けられ被吸着物が載置される周壁と、前記本体の前記周壁で囲まれた凹部の底部に設けられ、前記周壁と実質的に同じ高さで被吸着物を支持する多数の支持突起と、前記凹部の底部に設けられ、前記凹部内を排気する排気口とを有し、構成材料が、相対密度99%以上で、ヤング率が300GPa以上の緻密質セラミックス焼結体からなり、前記本体の外周から、前記周壁の内周およびその内周より50mm内側の間までの部分の板厚が、4mm以下であることを特徴とする真空チャック。
Fターム (12件)：
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031GA08
, 5F031GA32
, 5F031HA02
, 5F031HA07
, 5F031HA08
, 5F031HA10
, 5F031HA13
, 5F031HA14
, 5F031HA33
, 5F031PA26
