特許

J-GLOBAL ID：200903064984430187

加工方法およびその装置

発明者： 村上 敏貴
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-236863
公開番号（公開出願番号）：特開2001-062669
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、研削液等の加工液中の加工屑を有効に除去することができる加工方法およびその装置に関し、加工液中の加工屑の増大を確実に防止しながら加工を行うことを目的とする。【解決手段】 循環経路を介して循環される加工液を、被加工物に供給しながら、前記被加工物を加工工具により加工する加工方法において、前記被加工物の加工により生ずる加工屑を、前記循環経路内において、電気泳動現象により収集し前記加工液中から除去しながら加工を行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

循環経路を介して循環される加工液を、被加工物に供給しながら、前記被加工物を加工工具により加工する加工方法において、前記被加工物の加工により生ずる加工屑を、前記循環経路内において、電気泳動現象により収集し前記加工液中から除去しながら加工を行うことを特徴とする加工方法。

IPC (2件)：

B23Q 11/10 ,  B24B 55/12

FI (2件)：

B23Q 11/10 Z ,  B24B 55/12

Fターム (4件)：

3C011BB31 ,  3C011EE08 ,  3C047GG13 ,  3C047GG17