特許

J-GLOBAL ID：200903064991205237

光電圧センサ

発明者： 杉井 隆造 ,  大塚 正雄
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-071244
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258352
出願日： 1993年03月05日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【構成】 光の進行方向に配置した偏光子と、1/4波長板と、自然旋光能を有する電気光学結晶素子と、検光子とから成り、上記電気光学結晶素子の周面にあって、光の進行方向に対して垂直もしくは平行に対向する2面に設けられた電極膜に電界を印加して電圧を検出する光電圧センサにおいて、電気光学結晶素子の入射および出射面を電気光学結晶素子の1本の結晶軸に垂直に配置し、電気光学結晶素子の他の2本の結晶軸のいずれか1本を偏光子から出射した直線偏光の偏光方向に対し電気光学結晶素子の旋光方向と反対方向に、透過光路長で決まる旋光角の半分の角度だけ傾けて配置した電気光学結晶素子を設けている。【効果】 センサの感度を最大値のところで計測するのでSN比が向上して高精度となり旋光角が温度変化しても感度の変化はほとんどないのでセンサとしての温度特性が安定する。また、結晶の面方位のずれ、偏光子や波長板と結晶軸との軸ずれ、結晶の厚みの精度による旋光角の変化等構造上のバラツキが生じても感度はほぼ一定であるので、出力特性のバラツキのないセンサとなる。

請求項（抜粋）：

光の進行方向に配置した偏光子と、1/4波長板と、自然旋光能を有する電気光学結晶素子と、検光子とから成り、上記電気光学結晶素子の周面にあって、光の進行方向に対して垂直もしくは平行に対向する2面に設けられた電極膜に電界を印加して電圧を検出する光電圧センサにおいて、電気光学結晶素子の入射および出射面を電気光学結晶素子の1本の結晶軸に垂直に配置し、電気光学結晶素子の他の2本の結晶軸のいずれか1本を偏光子から出射した直線偏光の偏光方向に対し電気光学結晶素子の旋光方向と反対方向に、透過光路長で決まる旋光角の半分の角度だけ傾けて配置した電気光学結晶素子を具えたことを特徴とする光電圧センサ。