特許

J-GLOBAL ID：200903064996563964

生産管理システム

発明者： ▲高▼木 隆一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 徳若 光政
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-112468
公開番号（公開出願番号）：特開平8-287160
出願日： 1995年04月13日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 そのコスト上昇を抑えつつ、ロット管理情報等を効率良く処理ししかも異常発生時に有効に対処しうる生産管理システムを実現する。これにより、複数の加工工程を有する半導体製造ライン等の生産効率を高め、その生産管理システムの低コスト化を図る。【構成】 複数の加工工程つまりショップSHOP1〜SHOPnを有する半導体製造ライン等の生産管理システムにおいて、ショップSHOP1〜SHOPnを経由すべく順次移動される製造物又はそのロットLOTA〜LOTZに関するロット管理情報DLOTA〜DLOTZ等の管理情報をショップごとに保持・加工し、対応する製造物又はロットの移動に合わせて移動させ、いわゆるオブジェクト指向の分散型生産管理システムを構築する。また、各ショップのショップコントローラに保管される管理情報を、隣接するショップのショップコントローラにも複写して保管し、異常発生時の部分的なバックアップに供する。

請求項（抜粋）：

製造物に対してそれぞれ所定の処理を施す複数のショップを具備し、かつこれらのショップを経由すべく順次移動される製造物又はそのロット等に関する管理情報をショップごとに保持・加工し、製造物又はロットの移動に合わせて管理情報を移動させることを特徴とする生産管理システム。

IPC (3件)：

G06F 17/60 ,  B23Q 41/08 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

G06F 15/21 R ,  B23Q 41/08 B ,  H01L 21/02 Z