特許
J-GLOBAL ID：200903065001292242
自動外観検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名嶋 明郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-035220
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249784
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 大型で高価な演算処理装置を必要とせず、しかも完全な欠陥像を捉えることができる自動外観検査方法を提供する。【構成】 ラインセンサのライン走査方向と垂直方向に被検査物を相対的に移動させながら外観検査を行う。ここで被検査物は移動方向の表面形状が一定のものである。まず、初期のn本の走査ラインの同一順位の各画素毎の差がいずれもしきい値以下であることを確認し、この正常面の走査ラインの各画素のデータを基準値とする。そしてこの基準値と全走査ラインの各画素のデータの出力の差を同一順位の各画素毎に求め、差の絶対値がしきい値を越えるデータを含む走査ラインのデータのみに基づいて良否判定処理する。
請求項（抜粋）：
多数の画素を一定順序で配列したラインセンサのライン走査方向と垂直方向に、この方向の表面形状が一定である被検査物をラインセンサに対して相対的に移動させながらその外観検査を行うに当り、無欠陥の場所の走査ライン上の各画素の走査データを基準値として、全走査ラインについてライン上の同一順位の各画素毎に基準値との出力の差を求め、差の絶対値がしきい値を越えるデータのみに基づいて良否判定処理することを特徴とする自動外観検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01N 21/84
, G01N 21/17
