特許
J-GLOBAL ID：200903065003084671
多段スクリュー真空ポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194824
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231369
出願日： 1991年07月09日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 ポンプ内で昇華性ガスが固体化して生成される反応生成物を抑えることができる多段スクリュー形真空ポンプを提供すること。【構成】 上流側のスクリュー真空ポンプAの吐出口9と下流側のスクリュー真空ポンプBの吸込口8とを連絡通路15で接続してなる構成の多段式スクリュー真空ポンプにおいて、前記連絡通路内に不活性ガスを導入する不活性ガス導入口を設け、連絡通路15に不活性ガスを導入し、昇華性ガスの分圧を下げ、該ガスの固体化を防ぐ。
請求項（抜粋）：
上流側のスクリュー真空ポンプの吐出口と下流側のスクリュー真空ポンプの吸込口とを連絡通路で接続してなる構成の多段式スクリュー真空ポンプにおいて、前記連絡通路内に不活性ガスを導入する手段を設けたことを特徴とする多段スクリュー真空ポンプ。
IPC (2件)：
引用特許：
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