特許
J-GLOBAL ID：200903065013287589
イオン処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-016923
公開番号（公開出願番号）：特開平6-203788
出願日： 1993年01月07日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 低エネルギーの電子をファラデーカップ内に導入できるようにし、それによってイオンビーム照射に伴う基板の帯電を効果的に抑制することができるようにしたイオン処理装置を提供する。【構成】 ファラデーカップ8外に、プラズマ36を作るプラズマ生成容器22が設けられており、このプラズマ36から正イオン37を電極箱42内に引き出し、それを壁面に当てて二次電子38を放出させる。同壁面で反射された正イオン37aは、イオン取込み電極48に取り込まれる。放出された二次電子38は、電子引出し電極58によって筒64内に引き出されると共に同電極58の出口部で減速され、低エネルギーの二次電子38は、筒64の軸方向に沿う磁束Bによってガイドされて、効率良くファラデーカップ8内に導入される。
請求項（抜粋）：
基板を保持するホルダと、このホルダの上流側に設けられていて二次電子のアースへの逃げを防止するファラデーカップとを備え、このファラデーカップ内を通してイオンビームをホルダ上の基板に照射して当該基板を処理するイオン処理装置において、前記ファラデーカップの壁面の一部に設けられた孔と、ファラデーカップ外に設けられていてプラズマを生成するプラズマ源と、小孔およびそれから離れた所に開口部を有し、この小孔側がプラズマ源に絶縁物を介して隣接されていてこの小孔を通して内部にプラズマ源から正イオンが引き出される電極箱と、この電極箱に前記プラズマ源に対して負電圧を印加するイオン引出し電源と、前記電極箱の開口部の外側に絶縁物を介して設けられていて、電極箱内で放出された二次電子を引き出すメッシュ状の電子引出し電極と、この電子引出し電極に電極箱に対して正電圧を印加する電子引出し電源と、前記電極箱内に電極箱から絶縁して設けられていて、電極箱の内壁で反射された正イオンを取り込むイオン取込み電極と、このイオン取込み電極に電極箱に対して負電圧を印加するイオン取込み電源と、前記電子引出し電極と前記ファラデーカップの孔との間を連結する筒であって、電子引出し電極との間には絶縁物が介在されておりファラデーカップには電気的に接続されたものと、この筒内にその軸方向に沿う磁束を発生させる磁束発生手段と、前記電極箱とファラデーカップとの間を、両者が同電位かファラデーカップ側がやや正電位になるように接続するエネルギー設定手段とを備えることを特徴とするイオン処理装置。
IPC (3件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01L 21/265
