特許
J-GLOBAL ID：200903065016670898
温度検出素子を有するウェーハ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
澤木 誠一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-036546
公開番号（公開出願番号）：特開平11-224838
出願日： 1998年02月04日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】 従来、温度検出素子をウェーハに取り付ける作業は、困難であった。【解決手段】 本発明の温度検出素子を有するウェーハは、ウェーハ面の任意の箇所に窪みまたは孔を形成し、この窪みまたは孔内に温度分布を測定する熱電対の先端部を挿入し、固着する。
請求項（抜粋）：
ウェーハ面の任意の箇所に窪みを形成し、この窪み内に温度分布を測定する熱電対の先端部を挿入し、固着したことを特徴とする温度検出素子を有するウェーハ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 Z
, H01L 21/66 Z
