特許
J-GLOBAL ID：200903065017814281
ガス測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-084606
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281605
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 環境中(雰囲気中、大気中)や地中から発生するガスの濃度やその発生量を測定するための消費電力が小さく、高純度不活性ガスや水素の定期的な補給が不要な、ガス濃度およびガス発生量を測定するガス測定装置を得る。【解決手段】 少なくとも、被測定ガス導入部4、導入ガス処理部5、処理済ガスのガス濃度を検知可能なガスセンサー6aを備えたガス検知部6とを記載順に備えて構成され、ガスセンサー6aとして、金属酸化物半導体系ガスセンサーを備え、前記導入ガス処理部5に水分除去手段15を備えるとともに、前記ガス検知部6よりも上流側に校正ガスを添加する校正ガス添加手段14を備える。
請求項（抜粋）：
少なくとも、捕集された被測定ガスを導入して吐出側へ吐出する被測定ガス導入部と、前記被測定ガス導入部から吐出される前記被測定ガスに処理を施す導入ガス処理部と、前記導入ガス処理部で処理された処理済の前記被測定ガスが導入され、処理済の前記被測定ガスのガス濃度を検知可能なガスセンサーを備えたガス検知部とを備えて構成され、前記ガスセンサーとして、金属酸化物半導体系ガスセンサーを前記ガス検知部に備え、前記導入ガス処理部に前記被測定ガスと共存する水分を除去する水分除去手段を備えるとともに、前記ガス検知部よりも上流側に、所定濃度の被測定ガスを一定量、校正ガスとして添加する校正ガス添加手段を備え、前記被測定ガス導入部から前記捕集された被測定ガスが単独で前記ガス検知部に導かれる第1状態と、前記校正ガス添加手段が働いて、前記校正ガスが導かれる第2状態との間で、装置作動状態を切り換える切り換え手段を備えたガス測定装置。
IPC (2件)：
G01N 27/12
, G01N 1/00 101
G01N 27/12 B
, G01N 1/00 101 R
