特許

J-GLOBAL ID：200903065018163993

金属用研磨液材料、金属用研磨液、その製造方法及びそれを用いた研磨方法

発明者： 内田 剛 ,  星野 鉄哉 ,  寺崎 裕樹 ,  上方 康雄 ,  小山 直之 ,  本間 喜夫 ,  近藤 誠一
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 富田 和子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999007402
公開番号（公開出願番号）：WO2000-039844
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月06日
要約：

【要約】本発明では、酸化剤、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤、該保護膜形成剤の溶解補助剤及び水を含有する金属用研磨液と、その製造方法と、これを用いる研磨方法とが提供される。また、この金属用研磨液を調製するための材料として、本発明では、酸化金属溶解剤と、保護膜形成剤と、該保護膜形成剤の溶解補助剤とを含む金属用研磨液材料が提供される。

請求項（抜粋）：

酸化金属溶解剤と、保護膜形成剤と、該保護膜形成剤の溶解補助剤とを含む金属用研磨液材料。

IPC (2件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00

FI (2件)：

H01L 21/304 622 C ,  B24B 37/00 H