特許

J-GLOBAL ID：200903065019751155

透明シートの検査方法とその装置

発明者： 野本 峰生 ,  二宮 隆典 ,  末廣 一郎 ,  執行 秀春
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日東電工株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-176877
公開番号（公開出願番号）：特開平6-235624
出願日： 1993年07月16日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】 透明なシート表面の微小な凹凸欠陥やシート内部に生じる異物混入、気泡欠陥さらにシート表面に施す反射防止膜部に生じる突起や塊欠陥を確実かつ高速で自動的に検出できるようにする。【構成】 透明シート1にスリット状の光源224で斜方から低NAの光を照射し、照射光が正反射する方向から、シート表面の光学画像を検出レンズ225でラインセンサ226にデフォーカスして検出し、該光学画像を画像処理装置229で平滑化して2次微分処理した画像から、欠陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて凹凸欠陥、へこみ欠陥を検出すると共に、透明シート1にランダムな方向に指向する光を照射し、シート1を透過した光照射部のシートの光学画像をレンズ205でラインセンサ206で検出し、該光学画像を平滑化して2次微分処理した画像から、欠陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいてシート内部に生じる欠陥を確実に検出するようにした。

請求項（抜粋）：

透明シートにスリット状の光源で斜方から低NAの光を照射し、照射光が正反射する方向からシート表面の光学画像をデフォーカスして検出し、検出した光学画像を平滑化して2次微分処理し、2次微分処理した画像から、欠陥部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて透明シートの欠陥を検出する透明シートの検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/89

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-355354
  
• 特開平1-318908
  
• 特開平4-355354
  
• 特開平1-318908