特許
J-GLOBAL ID：200903065022801007

形状測定方法および形状測定装置

発明者：
半田 宏治

半田 宏治 について

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竹内 博之

竹内 博之 について

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久保 圭司

久保 圭司 について

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吉住 恵一

吉住 恵一 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-039278
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243435
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：
【要約】【課題】標準として組み込まない設計式に係る被測定物の表面形状を測定する際に、ユーザ側にて、独自の設計式を組み込むことができる形状測定装置を提供する。【解決手段】プローブ1による測定形状データを入力して被測定物表面Sと形状設計式による形状差を求めるデータ処理部11を有し、このデータ処理部を、予め組み込まれた形状設計式に基づき設計形状データを演算するライブラリファイルを格納するライブラリ部13と、このライブラリ部からライブラリファイルを読み込み上記測定形状データと設計形状データとの差を演算する演算プログラム部12とから構成し、さらに予め組み込まれた形状設計式以外の新たな形状設計式を定義し得るとともにそのライブラリファイルを作成し得る設計式作成部14を具備し、且つこの設計式作成部にて作成されたライブラリファイルを上記ライブラリ部に格納し得るようにしたもの。
請求項（抜粋）：
形状設計式に基づき加工された被測定物の形状を測定部により検出するとともに、この検出された測定形状データと予め格納されている上記形状設計式により求められた設計形状データとの差を求めることにより被測定物の形状を測定する方法であって、上記形状設計式以外の新たな形状設計式を設計式作成手段にて作成し、この新たに作成された形状設計式にて得られた設計形状データに基づき、被測定物の形状を測定することを特徴とする形状測定方法。
Fターム (13件)：
2F069AA04 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069FF01 ,  2F069GG01 ,  2F069GG12 ,  2F069GG14 ,  2F069GG72 ,  2F069GG74 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ08 ,  2F069NN05 ,  2F069NN16
引用特許：
審査官引用 (4件)
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