実装済みプリント基板の検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008977
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221823
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】実装済みプリント基板上に照射した微小ビーム光の反射光を光電変換素子で受光し、その電気的出力から基板の表面形状を検査する実装済みプリント基板の検査装置に関し、特に光電変換素子の出力から得られる測定データに誤差のない電気回路を構成する。【構成】実装済みプリント基板上からの反射光を受光した光電変換素子19のアナログ出力を、高さ輝度演算回路52に入力し、輝度及び高さデータを算出する。光電変換素子19が反射光以外の光を受光することによる出力誤差をなくすため、微小ビーム光を照射しないときの光電変換素子19の値を測定し、オフセットデータ平均値演算・保持回路90、91に保持する。そして基板に微小ビーム光を照射したときに、I/V変換回路40、41及びA/D変換回路42、43で得られる測定データから保持した値を減算回路92、93にて減算する。

請求項（抜粋）：

実装済みプリント基板上に照射したビーム光の反射光を受光し、その受光位置に応じた電気的アナログ信号を出力する光電変換手段と、前記光電変換手段からの電気的アナログ信号をデジタル信号に変換するアナログ・デジタル変換手段と、前記デジタル信号を利用して、前記実装済みプリント基板の高さデータ及び輝度データを演算する高さ・輝度演算手段とを備えた実装済みプリント基板の検査装置であって、前記プリント基板上をビーム光が走査していないときの光電変換手段における出力値を、前記アナログ・デジタル変換手段により求めるとともに、前記基板の走査時に、前記アナログ・デジタル変換手段から出力される測定デジタル信号から前記出力値を減算をした後に、前記高さ・輝度演算手段に出力することを特徴とする実装済みプリント基板の検査装置。

IPC (6件)：

G01B 11/24 , G01C 3/06 , G01N 21/88 , G02B 26/10 102 , H05K 13/08 , H05K 3/34

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-352287
特開昭62-127604
特開平1-100409

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