特許
J-GLOBAL ID:200903065032559638
感光性塗料組成物及びパターンの形成方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-086564
公開番号(公開出願番号):特開2002-287345
出願日: 2001年03月26日
公開日(公表日): 2002年10月03日
要約:
【要約】【課題】 可視光にも感光し、細密なパターンを形成することができる感光性塗料組成物を提供すること。【解決手段】 (A)ウレタン結合を介してビニルエーテル基を有し、且つt-ブチルエステル基を含有する重合体;(B)1分子中に平均2個以上のカルボキシル基を含有する化合物;及び(C)活性エネルギー線照射により酸を発生する化合物を含むことを特徴とする感光性塗料組成物。
請求項(抜粋):
(A)ウレタン結合を介してビニルエーテル基を有し、且つt-ブチルエステル基を含有する重合体;(B)1分子中に平均2個以上のカルボキシル基を含有する化合物;及び(C)活性エネルギー線照射により酸を発生する化合物を含むことを特徴とする感光性塗料組成物。
IPC (9件):
G03F 7/027 513
, C09D 4/00
, C09D133/00
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 512
, G03F 7/038 501
, G03F 7/38 501
, G03F 7/38 511
, H05K 3/00
FI (9件):
G03F 7/027 513
, C09D 4/00
, C09D133/00
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 512
, G03F 7/038 501
, G03F 7/38 501
, G03F 7/38 511
, H05K 3/00 F
Fターム (27件):
2H025AA02
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC23
, 2H025BC83
, 2H025BE00
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CC20
, 2H025FA01
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 2H096AA26
, 2H096BA06
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 4J038FA231
, 4J038FA281
, 4J038GA06
, 4J038JA39
, 4J038JA41
, 4J038JC15
, 4J038MA14
, 4J038NA18
, 4J038PA17
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