特許
J-GLOBAL ID：200903065035277412
試料保持装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-258050
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102292
出願日： 1995年10月05日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 X線プローブ微小部分析法および走査型電子顕微鏡に用いられる、シリンダ内径よりも長い試料を保持する試料保持装置を提供する。【解決手段】 本発明の試料保持装置は、図1に示したように試料を観察、分析するためのスリット10を有する、試料を保持するための試料押え板8、試料支持板15、試料押えバネ9、シリンダ1およびシリンダ内径よりも長い試料7を保持するための切り欠き14を有する試料ホルダ2よりなることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
試料表面を観察、分析するためのスリットを有する、試料を保持するための試料押え板、試料支持板、試料押えバネ、シリンダおよびシリンダ内径よりも長い試料を保持するための切り欠きを有する試料ホルダよりなることを特徴とする試料保持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/20 A
, G01N 1/28 W
