特許
J-GLOBAL ID：200903065036666625
反射型回折格子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-166075
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015514
出願日： 1994年06月24日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 反射特性と耐久性を向上させた反射型回折格子【構成】 基板1に紫外線硬化型樹脂のレプリカ層2を形成し、その表面にCr膜からなる第1の下地層3aと、金属酸化物膜からなる第2の下地層3bと、Al膜3cと、金属酸化物膜からなる保護層3dの4層によって構成された反射層3を設ける。第1の下地層3aはレプリカ層2との密着性を向上させ、かつ、第2の下地層3bとともにAl膜の腐蝕を防ぐ。
請求項（抜粋）：
基板と、その表面に積層された回折格子のレプリカ層と、該レプリカ層に被着された反射層を有し、前記レプリカ層が反応性硬化型樹脂によって作られており、前記反射層が、Cr膜からなる第1層と、金属酸化物膜からなる第2層と、Al膜からなる第3層と、金属酸化物膜からなる第4層によって構成されていることを特徴とする反射型回折格子。
IPC (2件)：
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