レーザ加工機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-218508
公開番号（公開出願番号）：特開平10-058177
出願日： 1996年08月20日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】レーザロッドの熱膨張に起因するレーザビームの広がりによって発生するレーザビームのエネルギ密度の低下を防止し、エネルギ密度を安定化することができるレーザ加工機を提供する。【解決手段】光学系をレーザビームの光路に沿って移動させる移動手段36と、レーザ発振器の有するレーザロッドの熱膨張の程度を示す状態量を測定し、この状態量からレーザロッドの熱膨張によって生ずるレーザビームの広がりを検出する熱膨張状態量検出手段51、52、53と、熱膨張状態量検出手段51、52、53により得られたレーザロッドの熱膨張の状態量データに基づいて凹レンズ2を移動させてレーザロッドの熱膨張によって生ずるレーザビームの広がりを補正し、レーザビームのエネルギ密度を所定とする制御手段55を有するものとした。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器のレーザロッドから出射されたレーザビームを光学系を通して所定のエネルギ密度に変換して被加工物に照射して加工するレーザ加工機であって、前記光学系をレーザビームの光路に沿って移動させる移動手段と、前記レーザ発振器のレーザロッドの熱膨張の程度を示す状態量を測定し、この状態量から前記レーザロッドの熱膨張によって生ずるレーザビームの広がりを検出する熱膨張状態量検出手段と、前記熱膨張状態量検出手段により得られたレーザロッドの熱膨張の状態量データに基づいて前記光学系を移動させてレーザビームのビーム径を補正し、所定のエネルギ密度とする制御手段とを有するレーザ加工機。

IPC (6件)：

B23K 26/04 , B23K 26/06 , G01J 1/02 , G02B 27/00 , H01S 3/16 , H01L 23/00

FI (8件)：

B23K 26/04 Z , B23K 26/06 A , B23K 26/06 Z , G01J 1/02 L , G01J 1/02 K , H01S 3/16 , H01L 23/00 A , G02B 27/00 Q

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