特許

J-GLOBAL ID：200903065049853963

AlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法

発明者： 久本 淳 ,  和田 浩司 ,  池田 貢基
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-066231
公開番号（公開出願番号）：特開平8-260196
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】 コスト的に有利な陽極酸化処理法を採用することを前提として、耐ガス腐食性及び耐プラズマ性に優れたAlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法を提供する。【構成】 AlまたはAl合金製真空チャンバ部材に陽極酸化処理を行うことによって、表面に開口したポアを多数有するポーラス層とポアのないバリア層からなる陽極酸化皮膜を形成するAlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法であって、まずポーラス型陽極酸化処理を施し、次いで非ポーラス型陽極酸化処理(ポアを形成することなくバリア層を成長させる陽極酸化処理)を行う。

請求項（抜粋）：

AlまたはAl合金製真空チャンバ部材に陽極酸化処理を行うことによって、表面に開口したポアを多数有するポーラス層とポアのないバリア層からなる陽極酸化皮膜を形成するAlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法であって、まずポーラス型陽極酸化処理を施し、次いで非ポーラス型陽極酸化処理を行うことを特徴とするAlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法。

IPC (5件)：

C25D 11/04 101 ,  C25D 11/04 302 ,  B01J 3/00 ,  C23C 16/44 ,  C23F 4/00

FI (5件)：

C25D 11/04 101 D ,  C25D 11/04 302 ,  B01J 3/00 K ,  C23C 16/44 B ,  C23F 4/00 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-302486   出願人：東京エレクトロン山梨株式会社
• 特開平4-206619
  
• 特公平5-053870