特許
J-GLOBAL ID：200903065054330049
圧電体の研磨制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-412942
公開番号（公開出願番号）：特開平5-084658
出願日： 1990年12月25日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】[目的] 研磨作業中の圧電体の共振周波数を正確に検出する。[構成] 研磨盤に埋設した導電体からなる電極を介して掃引発振器の発振出力を印加し、該信号印加端における電圧の変化から電極下のインピーダンスが所定の値よりも大きいときに電極下に圧電体が位置していると判定し、かつこのインピーダンスが急激に低下したときに該圧電体が共振したと見なして当該時点の掃引周波数を圧電体の真の共振周波数と見なし、この真の共振周波数が目的周波数に一致したときの研磨作業を終了する。
請求項（抜粋）：
相対面して配置され対向面間にラッピングスラリを供給されるとともにキャリアに保持した圧電体を挟持して回転駆動され該圧電体を平行研磨する上定盤および下定盤と、この上定盤および下定盤の一方に該定盤から絶縁して先端部を研磨面に位置させて埋設した導体からなる電極と、一定周波数のクロック信号をカウントするカウンタと、このカウンタのカウント値をアナログ信号に変換するデジタルーアナログ変換器と、このデジタルーアナログ変換器の変換出力に応じた周波数の信号を出力する掃引発振器と、この掃引発振器の発振出力を一定振幅に増幅して固定抵抗を介して上記電極に印加するAGC増幅器と、上記電極の信号印加端における信号を検波して比較的長い第1の時定数で第1の基準電圧と比較して電極下の圧電体の在否を判定する第1の比較器と、上記第1の比較器の判定出力を上記カウンタのカウント値に対応した番地に順次に記憶するメモリと、一方の入力に上記信号印加端における信号を検波した後フィルタを介して与えられ他方の入力に直流電圧を与えられ上記フィルタの出力信号が上記直流電圧を越えたときに通過させて上記信号印加端における信号のディップを検出する上記第1の比較器よりも短い第2の時定数を有する第2の比較器と、この第2の比較器から出力されるディップ検出信号によって上記カウンタのカウント動作を停止させる掃引周波数制御回路と、上記第2の比較回路から与えられるディップ検出信号に応動して上記ディップ検出信号の出力の直前からの上記メモリに記憶されたデータから電極下に圧電体の存在する時だけ該データの記憶されたアドレスを周波数データとしてレジスタに取り込む周波数検出器と、この周波数検出器に順次に取り込まれる周波数データの各差分が予め設定した設定値よりも小さいときに圧電体の真の共振周波数と見なす周波数判定回路と、この周波数判定回路で判定した真の共振周波数が予め設定した目標周波数に一致した時に研磨作業の終了を判定する周波数比較回路と、この周波数比較回路の研磨作業の終了の判定に応動して上下定盤の回転を停止させる駆動制御回路と、を具備することを特徴とする圧電体の研磨制御装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
