特許
J-GLOBAL ID：200903065055641439
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-005561
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204600
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、試料の撮像画像から良否判定を行う検査装置に関し、画像信号の差異比較を撮像部内で完了する検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 撮像部と、複数の試料を搬送する搬送部と、搬送部により試料が撮像部の撮影画角内に運ばれるたびに、撮像部を制御して該試料の撮像を行う制御手段とを備えた検査装置において、撮像部は、入射光に応じた画素出力を生成する複数の受光部と、複数の垂直読み出し線と、複数の受光部の特定行を順次に選択しつつ、該特定行の受光部から過去保持した前フレームの画素出力と、該特定行の受光部から新規に保持した現フレームの画素出力とを、垂直読み出し線へ逐次出力する垂直転送回路と、垂直読み出し線を介して時分割に転送される前フレームの画素出力と現フレームの画素出力とを比較する比較回路と、比較回路の比較結果を水平転送する水平転送回路とを備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
撮像部と、複数の試料を搬送する搬送部と、前記搬送部により試料が前記撮像部の撮影画角内に運ばれるたびに、前記撮像部を制御して該試料の撮像を行う制御手段とを備えた検査装置において、前記撮像部は、マトリックス状に配列され、入射光に応じた画素出力を生成する複数の受光部と、前記複数の受光部の列毎に設けられた複数の垂直読み出し線と、前記複数の受光部の特定行を順次に選択しつつ、該特定行の受光部から過去保持した前フレームの画素出力と、該特定行の受光部から新規に保持した現フレームの画素出力とを、前記垂直読み出し線へ逐次出力する垂直転送回路と、前記垂直読み出し線ごとに設けられ、前記垂直読み出し線を介して時分割に転送される前フレームの画素出力と現フレームの画素出力とを比較する比較回路と、前記垂直読み出し線ごとに出力される前記比較回路の比較結果を水平転送する水平転送回路とを備えたことを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06T 7/00
H01L 21/66 J
, G01B 11/30 G
, G01N 21/88 E
, G01N 21/88 J
, G06F 15/62 405 A
