特許
J-GLOBAL ID：200903065057847743
平行度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-241246
公開番号（公開出願番号）：特開平8-107132
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 ツール5の押圧面5aとステージ2の押圧面2aとの平行度を、高い精度で迅速に、また熱による損傷を受けることなく、さらにツール5およびステージ2の大きさや材質にかからず、しかもツール5およびステージ2による圧着作用に支障を及ぼすことなく、測定する。【構成】 ツール5の押圧面5aにレーザ光を投射し、その押圧面5aからの反射光を受けることにより、押圧面5aの位置を測定するレーザ変位測定器25を設け、さらにステージ2の押圧面2aにレーザ光を投射し、その押圧面2aからの反射光を受けることにより、押圧面2aの位置を測定するレーザ変位測定器26を設け、これらレーザ変位測定器25,26を各押圧面5a,2aに沿って移動し、レーザ変位測定器25,26の測定結果から押圧面5aと押圧面2aとの平行度を求める。
請求項（抜粋）：
互いに対向面を有する第1部材と第2部材との平行度測定に用いる平行度測定装置において、前記第1部材の対向面にレーザ光を投射し、その対向面からの反射光を受けることにより、第1部材の対向面の位置を測定する第1測定手段と、前記第2部材の対向面にレーザ光を投射し、その対向面からの反射光を受けることにより、第2部材の対向面の位置を測定する第2測定手段と、前記第1測定手段および第2測定手段を前記各部材の対向面に沿って移動する移動手段と、この移動手段により移動する前記各測定手段の測定結果から前記第1部材の対向面と前記第2部材の対向面との平行度を求める手段と、を具備したことを特徴とする平行度測定装置。
IPC (2件)：
H01L 21/60 321
, G01M 11/00
