特許

J-GLOBAL ID：200903065065929155

高圧放電灯およびこれを含む半導体露光装置ならびに映写装置

発明者： 高橋 哲也 ,  岩藤 泰博 ,  光行 陽一郎
出願人/特許権者： 東芝ライテック株式会社
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-162682
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021988
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】石英ガラス製バルブの封止管部の封止構造を改善して歩留りと信頼性とを共に高める。【構成】封止管部2aの内周面とセパレートガラス6の外周面との間に複数の金属箔7a,7b,7c,7dを周方向に等ピッチで介在させる。これらの各金属箔7a〜7dの幅をWH とし、各金属箔7a〜7d同士間の間隔をWI としたときに、WI /WH が0.15≦WI /WH ≦0.40を満足させる値に設定する。

請求項（抜粋）：

発光空間を形成する石英ガラス製バルブの両端部に、封止管部を一体に連成し、この封止管部内に、内部リード棒と外部リード棒の各一端部を挿入せしめて支持すると共に、石英ガラス製の閉塞筒体を嵌入し、この閉塞筒体と前記封止管部との間に、その周方向等分位置にて複数の導電箔を介在し、これら導電箔を介して前記内部リード棒に前記外部リード棒を電気的に接続する高圧放電灯において、前記各導電箔の幅をWH とし、導電箔同士の間隔をWI としたときに、WI /WH が0.15≦WH ≦0.40を満足させる値に設定されることを特徴とする高圧放電灯。

IPC (6件)：

H01J 61/36 ,  G03B 21/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 61/20 ,  H01J 61/76 ,  H01J 61/86