特許
J-GLOBAL ID：200903065070816121
輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定機
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-060119
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239012
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 少なくとも2つの面が交差する形状(水平面、上り斜面、下り斜面のうち少なくとも2種類の面の組合せ)を有するワークの輪郭形状を測定する場合に、測定精度がよく、かつ測定時間が長くならないとともに、種々の角度の傾斜面を有するワークにも対応可能な測定方法及びそれを備えた輪郭形状測定機を提供する。【解決手段】 触針負荷を検出するセンサーを触針が取り付けられるアーム又は触針に設けて、触針負荷を検出しながらワークの表面を測定し、得られた測定データを触針負荷の大きさに基づいて補正し、補正された測定データによってワークの輪郭形状を算出するようにする。触針負荷に対する測定データの補正値は、少なくとも2つの面が交差する形状を有し輪郭形状が既知の基準ゲージを、測定したときの「個々の測定データの真値との差」及び「そのときに検出された触針負荷」の関係から求める。
請求項（抜粋）：
ワークの表面に触針を当接させながらその触針をワークに対して相対的に移動させ、その触針の変位及び移動量を検出することによってワークの輪郭形状を測定する輪郭形状測定機において、前記触針の負荷の大きさを検出する負荷検出手段を設け、前記触針の負荷の大きさを検出しながらワークの表面を測定し、得られた測定データを、前記触針の負荷の大きさに応じて補正し、補正された測定データによってワークの輪郭形状を算出することを特徴とする輪郭形状測定方法。
IPC (2件)：
G01B 7/34 102
, G01B 21/30 102
G01B 7/34 102 B
, G01B 21/30 102
